میکروسکوپ الکترونی روبشی رشته تنگستن ، اکو. SEM ، 15x ~ 250000x
توضیحات محصول
رشته تنگستن A63.7062 میکروسکوپ الکترونی روبشی، اکو SEM | ||
وضوح | 4.5nm@30KV (SE) ؛ 6nm @ 30KV (BSE) | |
بزرگنمایی | بزرگنمایی منفی: 15x ~ 250000x؛ بزرگنمایی صفحه: 30x ~ 500000x | |
اسلحه الکترونیکی | کارتریج رشته ای تنگستن گرم شونده کاتدی تنگستن | |
ولتاژ شتاب دهنده | 0 ~ 30 کیلوولت | |
سیستم لنز | لنزهای الکترومغناطیسی سه سطح (لنز مخروطی) | |
دیافراگم هدف | دیافراگم مولیبدن قابل تنظیم در سیستم خلا V خارج | |
مرحله نمونه | مرحله پنج محور | |
محدوده سفر | X (خودکار) | 0 ~ 50 میلی متر |
Y (خودکار) | 0 ~ 50 میلی متر | |
Z (دستی) | 0 ~ 25 میلی متر | |
R (دستی) | 360 درجه | |
T (دستی) | -5o ~ 90o | |
قطر حداکثر نمونه | 150 میلی متر | |
ردیاب | SE: ردیاب الکترونی ثانویه با خلاuum بالا (با محافظت از ردیاب) | |
تغییر | ارتقاage مرحله ؛ EBL ؛ STM ؛ AFM ؛ مرحله گرمایش ؛ مرحله Cryo ؛ مرحله کششی ؛ دستکاری میکرو نانو ؛ دستگاه پوشش SEM + ؛ SEM + لیزر | |
تجهیزات جانبی | CCD ، LaB6 ، ردیاب اشعه ایکس (EDS) ، EBSD ، CL ، WDS ، دستگاه پوشش | |
سیستم خلاuum | پمپ های مولکولی توربو ؛ پمپ چرخشی | |
جریان پرتو الکترونی | 10pA ~ 0.1 |
پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید